南京净化车间装修工程半导体晶圆洁净车间
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南京半导体晶圆洁净车间净化空调设计图南京半导体洁净车间装修图片南京半导体净化车间装修吊顶施工南京半导体净化车间装修施工图片半导体晶圆生产洁净车间控制说明：
1.温度控制：房间内设温度传感器，MAU的预热盘管后设温度传感器，MAU的送风主管上设温度传感器；房间内的温度传感器控制干盘管电动调节水阀，维持室内温度在设定值范围，当干盘管电动调节水阀全关，室内温度仍低于设定值时，启动MAU再热盘管；预热盘管后的温度传感器控制预热盘管的电根据室外新风相对湿度H和干球温度T计算室外新风的露点温度Td，分为夏季工况、过渡季节工况和冬季工况。当Td≥12°C时为夏季工况，Td＜12°C且T≤18°C时为冬季工况，其余为过渡季节工况。
（1）夏季工况：
室内湿度由MAU空调系统出风露点温度Td控制：设定Td为11.1°C，当出风露点高于11.6°C时，冷水盘管的电动二通阀开大，低于10.6°C时，则关小。
（2）冬季工况：
a.设定预热盘管后的温度为30.5°C，高于31.5°C时，关小预热盘管的电动二通阀，低于29.5°C时，则开大电动二通阀；
b.设定新风机组出口温度为20°C（可调）,高于21°C时，关小再热盘管电动二通阀，低于19°C时，开大再热盘管电动二通阀；
c.设定新风机组出风口处露点温度为11.1°C，当出风露点Td高于11.6°C时，关小预热盘管电动阀开度，当Td小于10.6°C时，则反之。
（3）过渡季节工况：
a.设定新风机组出风口处露点温度为11.1°C，当出风露点Td高于11.6°C时，关小预热盘管电动阀阀开度，当Td小于10.6°C时，则反之；
b.设定新风机组出口温度为18%%DC,高于19°C时，开大冷水盘管的电动二通阀，低于17°C时，则关小。房间内的温度传感器控制干盘管电动调节水阀，维持室内温度在设定值范围，当干盘管电动调节水阀全关，室内温度仍低于设定值时，启动MAU再热盘管；预热盘管后的温度传感器控制预热盘管的电动调节阀，维持预热盘管后的温度不低于11.1℃；新风送风主管上的温度传感器控制MAU夏季冷盘管的电动调节阀或冬季再热盘管的电动调节阀，维持新风送风在设定值范围；湿度控制：房间内湿度传感器冬季时控制MAU的加湿器的加湿量，夏季设定新风机组出风口处露点温度为11.1°C，维持室内相对湿度在设定值范围；
2.报警控制：各级过滤器均设置差压报警，初效G4:80Pa，中效（F8）：Pa，亚高效（H12）：Pa，高效（H14）：Pa；
3.联锁控制：MAU的风机与新风送风管上防火阀、电动风阀联锁；排风电动风阀与排风机连锁；
4.消防控制：
当发生火灾时，由消防值班中心发出信号关闭空调风机、排风机及防火阀，同时开启排烟系统进行排烟及防烟系统防烟；或防火阀熔断，关闭联锁风机，同时输出信号，经消防值班中心确认火灾后，发出信号关闭非消防通风空调系统设备，开启排烟系统进行排烟。排烟系统也可就地开启；
5.变频控制：送风主管上的动压传感器控制循环空调机组的送风机变频器，维持送风量恒定；
6.正压控制：设置在净化室内的压差传感器控制新风机组的变频器，维持室内正压在设定值；
7.启停顺序：启动顺序：新风电动风阀-新风空调机组-循环空调机组-排风机；停止顺序相反；
8.循环空调机组、新风机组、排风机设故障报警；
9.FFU:分区域控制FFU启停，当生产区发生火灾，由消防报警系统发出信号，所有FFU停止运行。
10.防冻保护：预热盘管后的温度低于2%%DC（可调）或空调机组停运时，空调箱电动风阀关闭，风机停止运行。
11.所有设定值可根据实际运行工况进行调整。注：所有系统原理图中标注的正压风量为理论计算风量。实际正压风量会根据房间密闭情况而定。
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