半导体无尘车间如何防静电防静电湿膜加湿器

现代化半导体的生产对环境要求非常严格,都是在无尘车间里面进行生产活动的,它对温湿度的要求是温度22±2℃,湿度45±5%RH。温度过高,那么受热胀冷缩的影响,会影响到产品的性能,别看就那么一丢丢几微米的差别,但是对于产品的紧密度会造成重大的影响。

湿度控制也是非常重要的,湿度过高会导致半导体受潮,而过低则会导致生产环境出现静电,还会产生灰尘,控制好空气湿度可以有效的降尘防静电,确保半导体生产不受影响,要知道静电对电子产品的破坏力不在潮湿之下,而且很隐蔽,检测人员靠肉眼是很难检测出来的。

目前,半导体制造工艺已经进入纳米时代,产品的精密度越来越高,要知道纳米并不是半导体的极致,纳米过后还有飞米,也就是传说中的量子,要是真的达到那种精密度,那么对生产环境的要求只会越来越严格,说不定需要到太空里生产,现在么,还可以在地球上通过控制生产环境来实现。

要想保证无尘车间的环境,要有空调来控制温度,无尘状态需要负压系统来控制,还要有除尘设备,湿度控制则可以使用湿膜加湿器来实行,把空气湿度控制在45-55%RH之间,这样不但可以释放无尘车间空气中游离的电荷,降低空气中电荷的浓度,还可以让生产设备表面的静电电荷快速散逸,达到消除静电保护生产的目的。

QS-9系列湿膜加湿器利用水的蒸发性,将水通过水泵和分配器不断送到湿膜上部,在重力作用下水通过湿膜回到主水箱形成循环,空气通过湿膜时,与湿膜充分接触,过滤尘埃等颗粒物,使空气净化,湿度增加,从而达到加湿,净化,降尘防静电的目的,它加湿的时候不会产生雾气,随半导体无尘车间加湿控湿效果很好。



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